知识科普|三氟化氮是什么危化品？

三氟化氮，化学式NF₃，在常温下是一种无色、无臭、性质稳定的气体，是一种强氧化剂。三氟化氮在微电子工业中作为一种优良的等离子蚀刻气体，在离子蚀刻时裂解为活性氟离子，这些氟离子对硅和钨化合物，高纯三氟化氮具有优异的蚀刻速率和选择性（对氧化硅和硅），它在蚀刻时，在蚀刻物表面不留任何残留物，是非常良好的清洗剂，同时在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的运用。

三氟化氮（CAS：7783-54-2）：

三氟化氮的危害：中国危险化学品名录-危险化学品分类信息表中的危害评估：

①H270：可能导致或加剧燃烧；氧化剂。

②H373：长期或反复接触可能对器官造成伤害。

三氟化氮泄露处置：远离可燃物（如木材、纸张、油品等）。禁止接触或跨越泄漏物。在保证安全的情况下堵漏。如果可能的话，翻转泄漏的容器，使之漏出气体而不是液体。禁止用水直接冲击泄漏物或泄漏源。喷雾状水抑制蒸气或改变蒸气云流向，避免水流接触泄漏物。防止泄漏物进入水体、下水道、地下室或密闭空间。允许泄漏物蒸发。隔离泄漏区直至气体散尽。 注意：许多材料接触冷冻/低温液体变脆，很可能没有预兆就发生破裂。